Integration for Micro Systems



| F50 | F60 | |||
| 光学性能 | 対物レンズの開口数 | NA=0.11 | 対物5倍:0.15,10倍:0.30, 20倍:0.46 |
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| 見かけの開口数 | ズームポジション0.7の時 | NA=0.02 | - | |
| ズームポジション9.0の時 | NA=0.11 | - | ||
| 画像解像度(3CCDビデオカメラを採用の場合) | 13.7[μm/pix]〜 1.13[μm/pix] |
2[μm/pix]〜 0.5[μm/pix] |
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| 粒子測定範囲 | 5μm〜1000μm (ズームポジションに依存します) |
1μm〜200μm (対物レンズに依存します) |
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| 電動ステージ | φ47mm 試料を 8枚まで搭載可能 |
φ25mm試料を 8枚まで搭載可能 |
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| 稼動可能範囲 | 150mm×150mm | 100mm×100mm | ||
| 消費電力 | 1400w以下 | 1400w以下 | ||
| 重量 | 150kg以下 | 150kg以下 | ||
| 調整&設定 | ズーム比自動ティーチング機能 |
| ステージ(メンブレン)位置自動誤差調整 | |
| ソフトウェアオートフォーカス(F60はハードウェアオートフォーカスを選択可能) | |
| 測定サイズ自動ズーム位置設定 | |
| 自動ホワイトレベル・ホワイトバランス設定 | |
| 分析機能 | 結果一覧表示&判定変更 |
| 拡大目視確認&分析機能 | |
| 分析グラフ表示 | |
| 保存画像再分析機能 | |
| トレンドグラフ作成機能 |
MRIとIMSの共同開発製品です。
※仕様は予告なく変更することがあります。詳しくはお問い合わせください。